2. 研究員紹介
  3. 新井 泰彦(あらい やすひこ)


新井 泰彦(あらい やすひこ)

名前 新井 泰彦(あらい やすひこ)
所属 システム理工学部(機械工学科)
研究室 計測システム研究室
研究の経緯 モアレトポグラフィ技術の自動化の研究から縞解析技術へ、さらに光波干渉計を用いたより高精密測定へと研究分野を広げている。これらの計測に関する基礎技術を用いて、現在、MEMS の動特性解析技術の開発を行っている。
研究テーマ ① 空間的縞解析法を用いた微小構造物の動特性解析技術の開発
② 構造物の動的形状計測法におけるスペックル干渉解析法の縞解析
③ SEMによる極小構造物の形状計測法の開発
④ 光駆動型極小機械要素の開発
キーワード 光応用計測、空間的縞解析法、形状計測、モアレ縞、光波干渉計測、縞走査、MEMS計測、非接触計測
応用技術分野 精密計測機器、人体計測、精密位置決め機器
学術情報システム 学術情報システムを見る
Name ARAI Yasuhiko
Faculty, Department Department of Mechanical Engineering,
Faculty of Engineering Science
Research Topics ① Current research interests include a fringe analysis and moire fringes
② Optical motor using light pressure
Key Words Moire, Speckle, Interferometry, Shape measurement, 3-D measurement, Virtual speckle pattern, Optical motor, Silicon process, Light pressure
Applications Dynamic high resolution measurement for deformation (out-of-plane and in-plane) with rough surface, Measurement of out of plane deformation for electro devices, Control of movement of micro structures under environment of vacuum