2025年11月10日 外部資金
新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業／先端半導体製造技術の開発」に係る公募について
公募対象
②先端半導体製造技術の開発（助成）
（c）露光周辺技術開発
（c1）高出力EUV露光装置向けペリクル開発【GX】
予算規模
初回ステージゲート審査までの助成費
①1件あたり原則21億円以下（助成率：1/2）
※学術機関等への共同研究費の定額助成（100％助成）
事業期間
研究開発開始時点から原則5年（60ヶ月）以内
※当初交付決定する期間は36か月