2025年08月06日 外部資金
新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発」 に係る公募について
公募対象課題
①先端半導体製造技術の開発(助成)
(b)先端半導体の後工程技術(More than Moore技術)の開発
(b4)有機RDLインターポーザの微細化製造技術開発【GX】
②先端半導体製造技術の開発(助成)
(h)先端半導体計測・分析技術開発
(h1)先端ロジック半導体向け3次元非破壊計測技術開発
予算規模
〇初回ステージゲート審査までの助成費
①1件あたり原則145億円以下(助成率:1/2)
②1件あたり原則18億円以下(助成率:1/2)
※学術機関等への共同研究費は定額助成(100%助成)
事業期間
研究開発開始時点から原則5年(60か月)以内
※当初契約締結期間は36か月(ステージゲート実施)