新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術 の開発」に係る公募について

対象の開発テーマ

研究開発項目②:先端半導体製造技術の開発
d:国際連携による次世代半導体製造技術開発
 d5:先端パッケージング等を含む後工程高度化プラットフォームの構築
  d5-1:先端パッケージング等を含む後工程の自動化にかかる技術開発

事業期間

研究開発開始時点から原則5年(60カ月)以内
※ステージゲート審査あり

予算規模

1件あたり原則200億円以下