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理工学研究科 村上 勝悟さんが第87回半導体・集積回路技術シンポジウムにおいて学生優秀発表賞を受賞
氏名
村上 勝悟
所属
理工学研究科 システム理工学専攻 機械工学分野 ナノ機能物理工学研究室
受賞年日
2023年08月31日
大会・団体名
第87回半導体・集積回路技術シンポジウム
受賞名
学生優秀発表賞
研究テーマ等
Ru触媒を用いた湿式SiエッチングによるTSVホールの形成
賞の概要
本会は電気化学会(会員数3700名)の電子座利用委員会が主催する半導体・集積回路技術における講演会である。優秀発表賞は参加者の投票で学生ポスターセッションの上位得票者に対して与えられるしょうである(10件中1件受賞)。
指導教員
清水 智弘
