理工学研究科　村田　恭輔さんがAdvanced Metallization Conference 2021においてADMETA Poster Awardを受賞｜表彰・受賞一覧（学生）

理工学研究科　村田　恭輔さんがAdvanced Metallization Conference 2021においてADMETA Poster Awardを受賞

氏名

村田　恭輔

所属

理工学研究科　システム理工学専攻　機械工学分野　ナノ機能物理工学研究室

受賞年日

2022年10月13日

大会・団体名

Advanced Metallization Conference 2021

受賞名

ADMETA Poster Award

研究テーマ等

Effect of concentration of the etching solution on preparation of Si holes using MacEtch process

賞の概要

応用物理学会シリコンテクノロジー分科会が主催する今年で31回目となる国際会議である。配線関連の材料、プロセス、設計、実装、装置、コスト、分析技術などにフォーカスし、様々な課題解決に向けて基礎から応用開発まで、産学官の研究者、技術者による総合的な議論を行っている。
ポスター賞は学生だけでなく一般の参加者も含め優れたポスター発表に対し授与される(受賞率5%程度)。