研究員紹介
清水 智弘 / SHIMIZU Tomohiro
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所属
システム理工学部（機械工学科）
研究室
ナノ機能物理工学研究室
研究の経緯
現在の半導体集積回路の微細化を支えるリソグラフィー技術は、更なる微細化、高集積化を進めるにあたりスループットの低さや、コスト面が問題となってくる。そこで、自己組織的に形成される規則構造を利用し、従来のトップダウン的な手法に代わる微細加工技術の確立に取り組んでいる。
研究テーマ
① 半導体ナノワイヤーの合成と電子デバイスへの応用
② ポーラスアルミナを用いたナノ構造体の形成
③ 金属・半導体ナノワイヤーの大量合成法の開発
研究分野
- ライフサイエンス
- 情報通信
- 環境・農学
- ナノテク・材料
- エネルギー
- ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学）
- 社会基盤（土木・建築・防災）
- フロンティア（航空・船舶）
- 人文・社会
- 自然科学一般
- その他
キーワード
ナノワイヤー、ナノロッド、ナノ粒子、ウィスカー、陽極酸化アルミナ、ポーラスアルミナ、VLS、CVD
応用技術分野
ラップゲート量子細線トランジスタ、太陽電池、発光素子、透明電極、ガスセンサ
Faculty, Department
Department of Mechanical Engineering,
Faculty of Engineering Science
Research Topics
① Synthesis of semiconductor nanowires and application of the wire to electronics
devices
② Fabrication of nanostructures using porous alumina template
③ Development of mass-synthesis of metal and semiconductor nanowires
Research Field
- Life Science
- Informatics
- Environmental Science/Agriculture Science
- Nanotechnology/Materials
- Energy Engineering
- Manufacturing Technology(Mechanical Engineering, Electrical and Electronic Engineering, Chemical Engineering)
- Social Infrastructure(Civil Engineering, Architecture, Disaster Prevention)
- Frontier Technology(Aerospace Engineering, Marine and Maritime Engineering)
- Humanities & Social Sciences
- Natural Science
- Other
Key Words
Nano-wire, Nano-rod, Nano-particle, Whisker, Anodic alumina, Porous alumina, Vapor-liquid-solid growth, Chemical vapor deposition
Applications
Wrap-gated nanowire transistor, Photovoltaic cell, Light emitting device, Transparent conductive film, Gas sensor