研究員紹介
清水 智弘（しみず ともひろ）
| 名前 | 清水 智弘（しみず ともひろ） |
|---|---|
| 所属 | システム理工学部（機械工学科） |
| 研究室 | ナノ機能物理工学研究室 |
| 研究の経緯 | 現在の半導体集積回路の微細化を支えるリソグラフィー技術は、更なる微細化、高集積化を進めるにあたりスループットの低さや、コスト面が問題となってくる。そこで、自己組織的に形成される規則構造を利用し、従来のトップダウン的な手法に代わる微細加工技術の確立に取り組んでいる。 |
| 研究テーマ | ① 半導体ナノワイヤーの合成と電子デバイスへの応用 ② ポーラスアルミナを用いたナノ構造体の形成 ③ 金属・半導体ナノワイヤーの大量合成法の開発 |
| キーワード | ナノワイヤー、ナノロッド、ナノ粒子、ウィスカー、陽極酸化アルミナ、ポーラスアルミナ、VLS、CVD |
| 応用技術分野 | ラップゲート量子細線トランジスタ、太陽電池、発光素子、透明電極、ガスセンサ |
| 学術情報システム | 学術情報システムを見る |
| Name | SHIMIZU Tomohiro |
|---|---|
| Faculty, Department |
Department of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering Science |
| Research Topics | ① Synthesis of semiconductor nanowires and application of the wire to electronics devices ② Fabrication of nanostructures using porous alumina template ③ Development of mass-synthesis of metal and semiconductor nanowires |
| Key Words | Nano-wire, Nano-rod, Nano-particle, Whisker, Anodic alumina, Porous alumina, Vapor-liquid-solid growth, Chemical vapor deposition |
| Applications | Wrap-gated nanowire transistor, Photovoltaic cell, Light emitting device, Transparent conductive film, Gas sensor |