研究員紹介
新宮原 正三(しんぐうばら しょうそう)
名前 | 新宮原 正三(しんぐうばら しょうそう) |
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所属 | システム理工学部(機械工学科) |
研究室 | ナノ機能物理工学研究室 |
研究の経緯 | シリコンLSI加工技術をベースとしたナノプロセスと、ナノ構造の自己組織形成の双方にまたがって研究を展開してきた。現在はさらに、ナノワイヤ特有の量子サイズ効果などを最大限に生かした新たな機能素子やセンサーの研究、及び人工ニューロン素子への研究展開も行っている。また独自の無電解めっき技術を用いた3次元LSIのTSV形成技術の研究も行っている。 |
研究テーマ | ① ポーラスアルミナを用いた強磁性体、半導体等のナノワイヤ二次元配列の自己組織形成と 機能素子化 ② ニューロモルフィック素子・ナノメモリ素子の形成と高機能化及びセンサー応用 ③ めっきプロセスによる三次元LSI微細配線形成と信頼性研究 |
キーワード | ナノテクノロジー、自己組織化、スピントロニクス、量子サイズ効果、センサー、めっき技術、信頼性、エレクトロマイグレーション、ナノワイヤ、不揮発メモリ |
応用技術分野 | 三次元LSI配線技術、太陽電池、人工ニューロン素子、メモリ素子、高感度センサー素子 |
学術情報システム | 学術情報システムを見る |
Name | SHINGUBARA Shoso |
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Faculty, Department |
Department of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering Science |
Research Topics | ① Fabrication and functionalization of various ferromagnetic and semiconductor nanowires using porous alumina template ② Nano memory devices and neuromorphic devices ③ Fabrication and reliability study of 3-dimensional LSI interconnection using electroless and electroplating |
Key Words | Nanotechnology, Self-organization, Spitronics, Quantum size effect devices, Sensor, Plating, Reliability, Electromigration, Nanowire, Memory |
Applications | 3-D LSI, Nano-bio sensor, Solar cell, Energy conversion device, Non-volatile memory, Neuromorphic device, LSI interconnection |