研究員紹介
鈴木 昌人 / SUZUKI Masato
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所属
システム理工学部（機械工学科）
研究室
ロボット・マイクロシステム研究室
研究の経緯
これまでシリコンのナノワイヤの形成、トランジスタの信頼性、光導派路のチップ内集積の研究を行ってきた経緯により、半導体プロセスおよび微細構造作製に関する知識と経験を有する。現在ではこれらを活用して新しいMEMSデバイスおよびプロセスの開発を目指している。
研究テーマ
① マイクロマシンの作製プロセス開発
② 低侵襲性マイクロ医療機器の開発
③ ロボット用マイクロ触覚センサの開発
研究分野
- ライフサイエンス
- 情報通信
- 環境・農学
- ナノテク・材料
- エネルギー
- ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学）
- 社会基盤（土木・建築・防災）
- フロンティア（航空・船舶）
- 人文・社会
- 自然科学一般
- その他
キーワード
Micro Electric Mechanical System（MEMS）、半導体、プロセス技術、マイクロセンサ、光導波路
応用技術分野
ロボティクス、医療機器、検査機器
Faculty, Department
Department of Mechanical Engineering,
Faculty of Engineering Science
Research Topics
① Development of fabrication process for micro machining
② Micro sensor system using semiconductor devices and MEMS devices
Research Field
- Life Science
- Informatics
- Environmental Science/Agriculture Science
- Nanotechnology/Materials
- Energy Engineering
- Manufacturing Technology(Mechanical Engineering, Electrical and Electronic Engineering, Chemical Engineering)
- Social Infrastructure(Civil Engineering, Architecture, Disaster Prevention)
- Frontier Technology(Aerospace Engineering, Marine and Maritime Engineering)
- Humanities & Social Sciences
- Natural Science
- Other
Key Words
Micro electro mechanical system (MEMS), Micro sensors, Semiconductor process, Optical devices
Applications
Micro machining, MEMS processing, Precision processing technology, Sensor engineering, Optical engineering, Engineering for semiconductor devisees