研究員紹介
鈴木 昌人（すずき まさと）
| 名前 | 鈴木 昌人（すずき まさと） |
|---|---|
| 所属 | システム理工学部（機械工学科） |
| 研究室 | ロボット・マイクロシステム研究室 |
| 研究の経緯 | これまでシリコンのナノワイヤの形成、トランジスタの信頼性、光導派路のチップ内集積の研究を行ってきた経緯により、半導体プロセスおよび微細構造作製に関する知識と経験を有する。現在ではこれらを活用して新しいMEMSデバイスおよびプロセスの開発を目指している。 |
| 研究テーマ | ① マイクロマシンの作製プロセス開発 ② 低侵襲性マイクロ医療機器の開発 ③ ロボット用マイクロ触覚センサの開発 |
| キーワード | Micro Electric Mechanical System（MEMS）、半導体、プロセス技術、マイクロセンサ、光導波路 |
| 応用技術分野 | ロボティクス、医療機器、検査機器 |
| 学術情報システム | 学術情報システムを見る |
| Name | SUZUKI Masato |
|---|---|
| Faculty, Department |
Department of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering Science |
| Research Topics | ① Development of fabrication process for micro machining ② Micro sensor system using semiconductor devices and MEMS devices |
| Key Words | Micro electro mechanical system (MEMS), Micro sensors, Semiconductor process, Optical devices |
| Applications | Micro machining, MEMS processing, Precision processing technology, Sensor engineering, Optical engineering, Engineering for semiconductor devisees |